0.00 байт
Трибологическое поведение легированных алмазоподобных покрытий: сравнительный анализ
Исследованы легированные алмазоподобные покрытия, полученные с использованием технологий CVD-осаждения из кремний органических прекурсоров и реактивного магнетронного распыления.