Заведующий отделом полупроводниковых материалов Института химических проблем микроэлектроники; родился 23 марта 1933 г.; окончил Московский институт стали в 1957 г., доктор технических наук, профессор; член-корреспондент РАЕН (1993); специалист в области технологии, материаловедения и физики полупроводников; лауреат Государственной премии.